ВЕРТИКАЛЬНЫЕ СБОРКИ FZS075 и FZV075 (ВАКУУМ)
| FZS075010-10004 Vertical Piezo Stage |
 |
| Описание: |
- Диапазон перемещения до 10 мм
- Двигатель: HR4
- Скорость до 50 мм/с
- Грузоподъемность до 2,5 кг
- Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)
|
Стоимость в РФ с учетов всех
налогов, таможенных сборов
и НДС 20%
10 197,00 Евро
Срок производства 8...10 недель
+ доставка, таможня от 5 недель
|
|
Механические
характеристики конструкции:
|
- Материал конструкции сборки: Алюминий
- Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
- Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
- Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
- Длина кабеля: 3 м
- Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
- Масса сборки (г): 1100
|
| Технические характеристики: |
- Диапазон перемещения (мм): 10
- Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
- Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
- Максимальная скорость (мм/с): 50
- Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
- Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 30
- Грузоподъемность (кг): 2,5
- Динамическая блокирующая сила (Н): 80
- Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
|
| Статус: |
Стандарный |
| FZV075010-10004 Vertical Piezo Stage |
|
| Описание: |
- Диапазон перемещения до 10 мм
- Двигатель: HR4
- Скорость до 50 мм/с
- Грузоподъемность до 2,5 кг
- Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)
|
Стоимость в РФ с учетов всех
налогов, таможенных сборов
и НДС 20%
16 131,00 Евро
Срок производства 10...12 недель
+ доставка, таможня от 5 недель
|
|
Механические
характеристики конструкции:
|
- Материал конструкции сборки: Алюминий
- Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
- Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
- Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
- Длина кабеля: 3 м
- Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
- Масса сборки (г): 1100
|
| Технические характеристики: |
- Диапазон перемещения (мм): 10
- Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
- Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
- Максимальная скорость (мм/с): 100
- Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
- Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 30
- Грузоподъемность (кг): 2,5
- Динамическая блокирующая сила (Н): 80
- Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
|
| Параметры дегазации: |
- Коэффициент полной потери массы в вакууме, TML < 1%
- Содержание летучих конденсирующихся веществ, CVCM < 0,1%
|
| Модификации: |
- FZV075010-10004 сборка для высокого вакуума до 10^-7 Торр
- FZU075010-10004 сборка для сверхвысокого вакуума до 10^-10 Торр
|
| Статус: |
Стандарный |
