ШАГОВЫЕ ПЬЕЗОСБОРКИ
Видео 1: Пьезоэлектрическая сборка LSPS на основе пьезоэлектрического шагового двигателя инерционного типа.
Видео 2: Пьезоэлектрическая сборка LSPS на основе пьезоэлектрического шагового двигателя инерционного типа в комплекте с контроллером. Демонстрационный набор № 8.
На русском языке: Моторизированная Пьезо Сборка LSPS35XS (завершенная система фокусировки для плоско-параллельного перемещения линзы с датчиком положения, включающая контрллер и программный интерфейс)
Линейная Шаговая Пьезо Сборка (Linear Stepping Piezo Stage – LSPS) основана на принципе работы Шагового Пьезо Актуатора (Stepping Piezo Actuator - SPA). Она обеспечивает большой ход и высокое разрешение, подходящее для задач микро позиционирования. Линейные направляющие обеспечивают прямолинейное перемещение и предохраняют систему от воздействия внешних сил и вибраций.
Для определения положения в данный момент времени применяется датчик линейного перемещения.
LSPS – это компактное, надежное и легкое решение, выдерживающее требования по электро-магнитной совместимости. Сборка может осуществлять более чем 10^6 циклов.
Пьезо сборка управляется контроллером SPC45.
Стандартные применения LSPS – это микропозиционирование, фокусировка, сканирование и задачи оптическогоо масштабирования… По спецификации заказчика могут быть разработаны модифицированные Шаговые Пьезо Сборки, включая Шаговые Пьезо сборки вращения.
Какое разрешение у пьезодвигателя LSPS ?
- В каталоге LSPS на стр.80 указано две величины разрешения. Разрешение рабочего хода (Typical stepping mode resolution) = 1 мкм - ограниченно минимальным шагом перемещения. Точное разрешение (Linear resolution) = 0,55 нм, ограничено разрешением актуатора.
- Разрешение рабочего хода может быть откалибровано от минимального шага 1-2 микрон до максимального шага 10-20 микрон. При работе только в режиме рабочего хода точность позиционирования будет ограничена позиционным разрешением двигателя. Здесь мы говорим о разрешении, но не о точности. В режиме рабочего хода для LSPS достижимы точности 4-5 мкм.
- Точное разрешение основано на разрешении самого пьезоактуатора APA35XS, которое фактически ограничено шумами управляющей электроники. Т.е. точное разрешение может быть даже больше чем 1/10,000 от величины максимального хода. Т.е. имеется возможность позиционирования LSPS на уровне нанометоров при использовании прецизионного сенсора положения, усилителя с низким уровнем шума и при очень высоком разрешении контроллера. Нужно отметить, что нанометровое позиционирование не может удерживаться при ВЫКЛ. напряжении, но может быть достигнуто при ВКЛ. напряжении питания. В режиме точного разрешения для LSPS достижимы такие же точности, как и для пьезоактуаторов.
- LSPS в режиме точного позиционирования могут достигать тех же значений разрешения и точности, что и пьезоактуаторы. LSPS имеют больший ход, но меньшее усилие и меньшую скорость, чем пьезо актуаторы.
- LSPS в режиме рабочего хода имеют меньшую точность и разрешение, чем актуатор.