Вертикальные пьезо сборки FZS075
Вертикальные пьезо сборки FZS075

Серия сборок для вертикального перемещения FZS обеспечивает идеальное вертикальное движение при перемещении клиновидной оси по горизонтали. В сборках для вертикального перемещения серии FZS обеспечивается полный доступ к верхнему механическому интерфейсу и без необходимости вертикальной установки сборки. Верхняя поверхность перемещается по линейной направляющей, помогающей избежать горизонтального перемещения. Положение по Z-оси контролируется с помощью линейного оптического энкодера для субмикронного позиционирования.

ВЕРТИКАЛЬНЫЕ СБОРКИ FZS075 и FZV075 (ВАКУУМ)      

FZS075010-10004 Vertical Piezo Stage 
Описание:
  • Диапазон перемещения до 10 мм
  • Двигатель: HR4
  • Скорость до 50 мм/с
  • Грузоподъемность до 2,5 кг
  • Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 1100
Технические характеристики:
  • Диапазон перемещения (мм): 10
  • Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
  • Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
  • Максимальная скорость (мм/с): 50
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 30
  • Грузоподъемность (кг): 2,5
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 80
  • Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
Статус: Стандарный

 

FZV075010-10004 Vertical Piezo Stage 
Описание:
  • Диапазон перемещения до 10 мм
  • Двигатель: HR4
  • Скорость до 50 мм/с
  • Грузоподъемность до 2,5 кг
  • Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 1100
Технические характеристики:
  • Диапазон перемещения (мм): 10
  • Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
  • Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
  • Максимальная скорость (мм/с): 100
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 30
  • Грузоподъемность (кг): 2,5
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 80
  • Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
Параметры дегазации:
  • Коэффициент полной потери массы в вакууме, TML < 1%
  • Содержание летучих конденсирующихся веществ, CVCM < 0,1%
Модификации:
  • FZV075010-10004 сборка для высокого вакуума до 10^-7 Торр
  • FZU075010-10004 сборка для сверхвысокого вакуума до 10^-10 Торр
Статус: Стандарный