Наклонные сборки FGS100
Наклонные сборки FGS100

НАКЛОННЫЕ СБОРКИ FGS100 и FGV100 (ВАКУУМ)      

FGS100120-10004 Tilt Stage 
Описание:
  • Диапазон углового хода до +/- 10 градусов
  • Двигатель: HR4
  • Скорость до 40 градусов в секунду
  • Грузоподъемность до 1 кг
  • Разрешение датчика 0,176 угловых секунды
  • Радиус от оси поворота 101,4 мм

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 940
  • Масса подвижной части сборки (г): 500
Технические характеристики:
  • Диапазон углового хода (градусы): +/- 10
  • Разрешение датчика (угловые секунды): стандарт 0,176; (опционально 0,0176)
  • Двунаправленная повторяемость (угловые секунды): стандарт 2,0; (опционально 0,2)
  • Максимальная скорость (мм/с): 40
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 30
  • Грузоподъемность (кг): 1
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 16
  • Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
Статус: Стандарный

 

FGV100120-10004 Tilt Stage 
Описание:
  • Диапазон углового хода до +/- 10 градусов
  • Двигатель: HR4
  • Скорость до 40 градусов в секунду
  • Грузоподъемность до 1 кг
  • Разрешение датчика 0,176 угловых секунды
  • Радиус от оси поворота 101,4 мм

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 940
  • Масса подвижной части сборки (г): 500
Технические характеристики:
  • Диапазон углового хода (градусы): +/- 10
  • Разрешение датчика (угловые секунды): стандарт 0,176; (опционально 0,0176)
  • Двунаправленная повторяемость (угловые секунды): стандарт 2,0; (опционально 0,2)
  • Максимальная скорость (мм/с): 40
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 30
  • Грузоподъемность (кг): 1
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 16
  • Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
Параметры дегазации:
  • Коэффициент полной потери массы в вакууме, TML < 1%
  • Содержание летучих конденсирующихся веществ, CVCM < 0,1%
Модификации:
  • FGV100120-10004 сборка для высокого вакуума до 10^-7 Торр
  • FGU100120-10004 сборка для сверхвысокого вакуума до 10^-10 Торр
Статус: Стандарный

   

FGS100160-10004 Tilt Stage 
Описание:
  • Диапазон углового хода до +/- 10 градусов
  • Двигатель: HR4
  • Скорость до 40 градусов в секунду
  • Грузоподъемность до 1 кг
  • Разрешение датчика 0,135 угловых секунды
  • Радиус от оси поворота 136,4 мм

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 940
  • Масса подвижной части сборки (г): 500
Технические характеристики:
  • Диапазон углового хода (градусы): +/- 10
  • Разрешение датчика (угловые секунды): стандарт 0,135; (опционально 0,0135)
  • Двунаправленная повторяемость (угловые секунды): стандарт 2,0; (опционально 0,2)
  • Максимальная скорость (мм/с): 40
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 30
  • Грузоподъемность (кг): 1
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 16
  • Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
Статус: Стандарный

 

FGV100160-10004 Tilt Stage 
Описание:
  • Диапазон углового хода до +/- 10 градусов
  • Двигатель: HR4
  • Скорость до 40 градусов в секунду
  • Грузоподъемность до 1 кг
  • Разрешение датчика 0,135 угловых секунды
  • Радиус от оси поворота 136,6 мм

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 940
  • Масса подвижной части сборки (г): 500
Технические характеристики:
  • Диапазон углового хода (градусы): 10
  • Разрешение датчика (угловые секунды): стандарт 0,135; (опционально 0,0135)
  • Двунаправленная повторяемость (угловые секунды): стандарт 2,0; (опционально 0,2)
  • Максимальная скорость (мм/с): 40
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 30
  • Грузоподъемность (кг): 1
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 16
  • Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
Параметры дегазации:
  • Коэффициент полной потери массы в вакууме, TML < 1%
  • Содержание летучих конденсирующихся веществ, CVCM < 0,1%
Модификации:
  • FGV100160-10004 сборка для высокого вакуума до 10^-7 Торр
  • FGU100160-10004 сборка для сверхвысокого вакуума до 10^-10 Торр
Статус: Стандарный