Линейные пьезо сборки FBS100
Линейные пьезо сборки FBS100

Ширина сборки для линейного перемещения FBS100 составляет 100 мм. Доступен диапазон хода 60 мм, 100 мм или 150 мм. Возможна комплектация двигателем HR4 или HR8 от Nanomotion. Серия FBS100 реализована в компактной разработке с низким профилем, с прямым приводом двигателя в простой, надежной конструкции, с линейным датчиком, установленным в центре для оптимального позиционирования, с возможностью простой установки в многоосевые системы с широким диапазоном рабочего хода и с выбором двигателей.

Конфигурация

  • Ширина: 100 мм
  • Варианты двигателя: HR4 или HR8
  • Стандартный ход: 60 мм, 100 мм, 150 мм (опционально 300 мм ход)
  • Стандартный датчик: разрешение 0,1 мкм
  • Дополнительно разрешение энкодера: 1 мкм, 0,5 мкм, 50 нм, 10 нм
  • Дополнительно датчик ограничения движения
  • Доступные крепления: X/Y, X/Z с помощью углового кронштейна, X/Y/Z с помощью углового кронштейна

Характеристики 

  • Прямолинейность и плоскостность: 2,5 мкм/25 мм ход
  • Максимальная грузоподъемность, кг: 10 (ход 60 мм); 12 (100 мм ход); 12 (150 мм) мм)
  • Движущая сила, Н: 16 (с двигателем HR4); 25 (с двигателем HR8)
  • Статическая удерживающая сила, Н: 12 (с двигателем HR4); 25 (с двигателем HR8) 

Повторяемость позиционирования: 

  • ± 0,5 мкм со стандартным датчиком 0,1 мкм
  • ± 50 нм с дополнительным датчиком 10 нм
  • ± 200 нм с дополнительным датчиком 50 нм
  • ± 2 мкм с дополнительным датчиком 0,5 мкм
  • ± 3 мкм с дополнительным датчиком 1,0 мкм 

Спецификация двигателя:

Динамическая блокирующая сила, Н: 

  • 60-миллиметровое перемещение с двигателем HR4: 16Н
  • 60-миллиметровое перемещение с двигателем HR8: 32Н
  • 100-миллиметровое движение с двигателем HR4: 16Н
  • 100-миллиметровое перемещение с двигателем HR8: 32Н
  • 150-миллиметровое перемещение с двигателем HR8: 32Н

Масса сборки, г: 

  • 60-миллиметровое перемещение с двигателем HR4: 1580 г
  • 60-миллиметровое перемещение с двигателем HR8: 1690 г
  • 100-миллиметровое движение с двигателем HR4: 2040 г
  • 100-миллиметровое перемещение с двигателем HR8: 2145 г
  • 150-миллиметровое перемещение с двигателем HR8: 2625 г

Масса перемещаемой части сборки (без учета полезной нагрузки), г:

  • 60-миллиметровое перемещение с двигателем HR4: 690 г
  • 60-миллиметровое перемещение с двигателем HR8: 700 г
  • 100-миллиметровое движение с двигателем HR4: 920 г
  • 100-миллиметровое перемещение с двигателем HR8: 930 г
  • 150-миллиметровое перемещение с двигателем HR8: 1160 г

Видео 1: 5-и осевой механизм

ЛИНЕЙНЫЕ СБОРКИ FBS100 и FBV100 (ВАКУУМ)    

FBS100100-10008 Linear Piezo Stage 
Описание:
  • Диапазон перемещения до 100 мм
  • Двигатель: HR8
  • Скорость до 250 мм/с
  • Грузоподъемность до 3 кг
  • Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 2145
  • Масса подвижной части сборки (г): 930
Технические характеристики:
  • Диапазон перемещения (мм): 100
  • Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
  • Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
  • Максимальная скорость (мм/с): 250
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 4
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 50
  • Грузоподъемность (горизонтальная) (кг): 3
  • Грузоподъемность (вертикальный подъем) (кг): 1,0
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 32
  • Жесткость двигателя (Н/м): 3,0
Статус: Стандарный

 

FBV100100-10008 Linear Piezo Vacuum Stage 
Описание:
  • Диапазон перемещения до 100 мм
  • Двигатель: HR8
  • Скорость до 250 мм/с
  • Грузоподъемность до 3 кг
  • Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 2145
  • Масса подвижной части сборки (г): 930
Технические характеристики:
  • Диапазон перемещения (мм): 100
  • Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
  • Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
  • Максимальная скорость (мм/с): 250
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 4
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 50
  • Грузоподъемность (горизонтальная) (кг): 3
  • Грузоподъемность (вертикальный подъем) (кг): 1,0
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 32
  • Жесткость двигателя (Н/м): 3,0
Параметры дегазации:
  • Коэффициент полной потери массы в вакууме, TML < 1%
  • Содержание летучих конденсирующихся веществ, CVCM < 0,1%
Модификации:
  • FBV100100-10008 сборка для высокого вакуума до 10^-7 Торр
  • FBU100100-10008 сборка для сверхвысокого вакуума до 10^-10 Торр
Статус: Стандарный