Линейные пьезо сборки FBS050
Линейные пьезо сборки FBS050

Ширина сборка для линейного перемещения FBS050 составляет 50 мм. Доступен диапазон хода 20 мм или 50 мм. Возможна комплектация двигателем HR2 или HR4 от Nanomotion. Серия FBS050 реализована в компактной разработке с низким профилем, с прямым приводом двигателя в простой, надежной конструкции, с линейным датчиком, установленным в центре для оптимального позиционирования, с возможностью простой установки в многоосевые системы с широким диапазоном размеров двигателя.

Конфигурация

  • Ширина: 50 мм
  • Варианты двигателя: HR2 или HR4
  • Стандартный ход: 20 мм, 50 мм
  • Стандартный датчик: разрешение 0,1 мкм
  • Дополнительно разрешение энкодера: 1 мкм, 0,5 мкм, 50 нм, 10 нм
  • Дополнительно датчик ограничения движения
  • Доступные крепления: X/Y, X/Z с помощью углового кронштейна, X/Y/Z с помощью углового кронштейна

Характеристики 

  • Максимальная грузоподъемность, кг: 2 (ход 20 мм); 5 (50 мм хода)
  • Движущая сила, Н: 8 (с двигателем HR2); 16 (с двигателем HR4)
  • Статическая удерживающая сила, Н: 3,5 (с двигателем HR2); 12 (с двигателем HR4)
  • Скорость до 200 мм/сек
  • Прямолинейность и плоскостность: +/- 2 мкм
  • Угол рыскания и тангажа, мкРад +/- 25 

Повторяемость позиционирования: 

  • ± 0,5 мкм со стандартным датчиком 0,1 мкм
  • ± 50 нм с дополнительным датчиком 10 нм
  • ± 200 нм с дополнительным датчиком 50 нм
  • ± 2 мкм с дополнительным датчиком 0,5 мкм
  • ± 3 мкм с дополнительным датчиком 1,0 мкм 

Спецификация двигателя:

Динамическая блокирующая сила, Н: 

  • 20-миллиметровое перемещение с двигателем HR2: 8Н
  • 50-миллиметровое перемещение с двигателем HR2: 8Н
  • 20-миллиметровое движение с двигателем HR4: 16Н
  • 50-миллиметровое движение с двигателем HR4: 16Н 

Масса сборки, г: 

  • 20-миллиметровое перемещение с двигателем HR2: 385 г
  • 20-миллиметровое перемещение с двигателем HR4: 400 г
  • 50-миллиметровое перемещение с двигателем HR2: 595 г
  • 50-миллиметровое перемещение с двигателем HR4: 610 г

Масса перемещаемой части сборки (без учета полезной нагрузки), г:

  • 20-миллиметровое перемещение с двигателем HR2: 150 г
  • 20-миллиметровое перемещение с двигателем HR4: 150 г
  • 50-миллиметровое перемещение с двигателем HR2: 226 г
  • 50-миллиметровое перемещение с двигателем HR4: 226 г

Видео 1: Система фокусировки Nanomotion

Видео 2: Вводный обучающий курс по технологии Nanomotion

Видео 3: Система позиционирования

ЛИНЕЙНЫЕ СБОРКИ FBS050 и FBV075 (ВАКУУМ)      

FBS050020-10004 Linear Piezo Stage 
Описание:
  • Диапазон перемещения до 20 мм
  • Двигатель: HR4
  • Скорость до 200 мм/с
  • Грузоподъемность до 1 кг
  • Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 400
  • Масса подвижной части сборки (г): 150
Технические характеристики:
  • Диапазон перемещения (мм): 20
  • Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
  • Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
  • Максимальная скорость (мм/с): 200
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 25
  • Грузоподъемность (горизонтальная) (кг): 1
  • Грузоподъемность (вертикальный подъем) (кг): 0,65
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 16
  • Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
Статус: Стандарный

 

FBV050020-10004 Linear Piezo Vacuum Stage 
Описание:
  • Диапазон перемещения до 20 мм
  • Двигатель: HR4
  • Скорость до 200 мм/с
  • Грузоподъемность до 2 кг
  • Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 400
  • Масса подвижной части сборки (г): 150
Технические характеристики:
  • Диапазон перемещения (мм): 20
  • Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
  • Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
  • Максимальная скорость (мм/с): 200
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 25
  • Грузоподъемность (горизонтальная) (кг): 1
  • Грузоподъемность (вертикальный подъем) (кг): 0,65
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 16
  • Жесткость двигателя (Н/м): 2,8 
Параметры дегазации:
  • Коэффициент полной потери массы в вакууме, TML < 1%
  • Содержание летучих конденсирующихся веществ, CVCM < 0,1%
Модификации:
  • FBV050020-10004 сборка для высокого вакуума до 10^-7 Торр
  • FBU050020-10004 сборка для сверхвысокого вакуума до 10^-10 Торр
Статус: Стандарный

  

FBS050050-10004 Linear Piezo Stage 
Описание:
  • Диапазон перемещения до 50 мм
  • Двигатель: HR4
  • Скорость до 200 мм/с
  • Грузоподъемность до 2 кг
  • Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 610
  • Масса подвижной части сборки (г): 226
Технические характеристики:
  • Диапазон перемещения (мм): 50
  • Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
  • Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
  • Максимальная скорость (мм/с): 200
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 25
  • Грузоподъемность (горизонтальная) (кг): 2
  • Грузоподъемность (вертикальный подъем) (кг): 0,65
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 16
  • Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
Статус: Стандарный

 

FBV050050-10004 Linear Piezo Vacuum Stage 
Описание:
  • Диапазон перемещения до 50 мм
  • Двигатель: HR4
  • Скорость до 100 мм/с
  • Грузоподъемность до 2 кг
  • Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)

Механические 

характеристики конструкции:

  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 610
  • Масса подвижной части сборки (г): 226
Технические характеристики:
  • Диапазон перемещения (мм): 50
  • Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
  • Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
  • Максимальная скорость (мм/с): 200
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 25
  • Грузоподъемность (горизонтальная) (кг): 2
  • Грузоподъемность (вертикальный подъем) (кг): 0,65
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 16
  • Жесткость двигателя (Н/м): 2,8
Параметры дегазации:
  • Коэффициент полной потери массы в вакууме, TML < 1%
  • Содержание летучих конденсирующихся веществ, CVCM < 0,1%
Модификации:
  • FBV050050-10004 сборка для высокого вакуума до 10^-7 Торр
  • FBU050050-10004 сборка для сверхвысокого вакуума до 10^-10 Торр
Статус: Стандарный